名稱 |
內(nèi)容 |
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測(cè)量范圍 |
Z軸(垂直) |
160μm |
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X軸(水平) |
17.5mm |
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分辨率 |
Z軸(垂直) |
0.01μm/±20μm |
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0.02μm/±40μm |
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0.04μm/±80μm |
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測(cè)量項(xiàng)目 |
參數(shù) |
Ra、Rq、Rz、Rt、RP、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rsk、R3z、Rmsx、Rpc、Rmr、Rk、Rpk、Rvk、Mrl、Mr2、V0 |
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標(biāo)準(zhǔn) |
ISO、ANSI、DIN、JIS |
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濾波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
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取樣長(zhǎng)度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
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評(píng)定長(zhǎng)度(ln) |
Ln=lr×n n=5 |
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傳感器 |
測(cè)量原理 |
位移式差動(dòng)電感 |
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觸針 |
天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑 |
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測(cè)力 |
<4mN |
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導(dǎo)頭 |
紅寶石,滑行方向半徑40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s |
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lr=0.8, Vt=0. 5mm/s |
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lr=2. 5, Vt=1mm/s |
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返回 Vt=1mm/s |
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示值誤差 |
不大于±10% |
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示值變動(dòng)性 |
不大于6% |
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電源 |
內(nèi)置鋰離子充電電池,用8.4V,1000mA充電器充電 |
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外形尺寸 |
119×47×65mm |
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重量 |
約380g |